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      接触式干涉仪
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一、仪器用途
   接触式干涉仪是一种采用量块或标准零件借以高精度的比较方式的立式精密长度计量仪器。主要用于150mm以下块规,亦可用作高精密度的长度和外径的精密测量,是各级计量室的基本长度计量仪器之一。

二、技术参数:
1.被测件最大长度:150 mm
2.工作台行程:5 mm
3.分度值调整范围:0.05-0.2 μm
4.推荐使用分度值:0.1 μm
5.测量压力:(1.5±0.1) N
6.仪器示值稳定性:0.02 μm
7.仪器误差:±(0.03+3ni▲λ) μm
n是格数, i是格值, ▲λ是滤光片波长误差,
8.仪器体积:280x500x700 mm
9.仪器重量:40 kg
10.标准配件
五筋园台,九筋玛瑙台,可调园平台,辅助台,平面测帽,小球面测帽,干涉滤光片
接触式干涉仪
 
 
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